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By Prof. Dr.-Ing. habil. B. v. Borries (auth.)

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Abstand Mitte Objektiv - Mitte Projektiv 18,8 cm. Außendurchmesser 17,0 cm. Entmagnetisierungsfaktor 0,065 Wie nützlich eine derartige Vorausberechnung im Hinblick auf die Leistungsfähigkeit permanelltmagnetischer elektronenoptischer Abbildungssysteme sein kann, sieht man an einem Vergleich des in Abbildung 17 dargestellten Systems mit einer Entwicklung der Radio Corporation of America, deren Form in Abbildung 18 gezeigt ist und welche N = 0,010 erreicht. m Sei te 41 Forschungsberichte des Wirtschafts- und Verkehrsministeriums Nordrhein-Westfalen 5 cm ~ Magnet ~ Weicheisen A b b i I dun g 18 Querschnitt eines von der Radio Corporation of America entwickelten und in ca.

I::! c: I Ul co+- H:. ~ Ul (l) p. (l) co+- D' Q Ii .... (l) c' )l:j Ul § D' Q Ul Ii Forschungsberichte des Wirtschafts und Verkehrsministeriums Nordrhein-Westfalen )0 000 20 000 t I> I~---. ---- ~---~ "'"' l'\. ~ r""'-oo... ,-t Q) p 5 000 4 000 ~ 3 000 CO 2 000 ~Q) :0 ~ Q) 1 500 1 " -, " , '"'" __ "" gemes sen ~ \ \ '- \ ..... 1 ~ \'- \ 2--' ~ ~ 1 ~bereChnet --- \a)c I> 1 000 o 1 2 4 3 5 6mm Verschiebung des Projektivs A b b i 1 dun g 25 Vergrößerungskurven eines magnetostatischen Elektronenmikroskops mit Vergrößerungsregelung mittels axial verschiebbaren Projektivs Kurven 1: Polschuh nach Abbildung 23 und 24 sowie 26(1) berechnet: ausgezeichnete Kurve gemessen Kurve gestrichelte Kurve 2: Polschuh nach Abbildung 26(2) gemessen Projektiv arbeitenden Elektronenmikroskops ist in Abbildung 25 als Funktion des Vorschiebeweges des Polschuheinsatzes dargestellt.

1) CI' JQ flI S p- CI) Q Ii 0 2 000 4 ooor ... ------ ... _--~ Amp. A1 und A2 Polschuh (verschiebbar) B1 und B2 Systembohrung geringer Vergrößerung mit Feldkurve (1) und Elektronenbahn (2) Axial verschiebbarer Projektivpolschuh in der Stellung ,--. I-zj 0 I::! (l) \D r-' I~ H:. (l) ~ I I::! (l) .... D' Ii P. Ii 0 2l Ul ~ Ii .... UlI::! Ul Ii D' (l) Ii Pi' (l) I~---.

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